Электронный научный журнал
 
Diagnostics, Resource and Mechanics 
         of materials and structures
ВыпускиО журналеАвторуРецензентуКонтактыНовостиРегистрация

2015 Выпуск 6

2018 Выпуск 2
 
2018 Выпуск 1
 
2017 Выпуск 6
 
2017 Выпуск 5
 
2017 Выпуск 4
 
2017 Выпуск 3
 
2017 Выпуск 2
 
2017 Выпуск 1
 
2016 Выпуск 6
 
2016 Выпуск 5
 
2016 Выпуск 4
 
2016 Выпуск 3
 
2016 Выпуск 2
 
2016 Выпуск 1
 
2015 Выпуск 6
 
2015 Выпуск 5
 
2015 Выпуск 4
 
2015 Выпуск 3
 
2015 Выпуск 2
 
2015 Выпуск 1

 

 

 

 

 

A. P. Rubshtein, Yu. V. Korkh, A. B. Vladimirov, A. B. Rinkevich, S. A. Plotnikov

STUDYING NANOCOMPOSITE FILMS WITH A MATRIX-FORMING CARBON BY KELVIN PROBE FORCE MICROSCOPY

Nanocomposite TiC/a-C and diamond-like carbon a-C films obtained by vacuum ion-plasma method have been studied by Kelvin Probe force microscopy. Films of thickness 200 nm were deposited on silicon wafers. The structure and composition of nanocomposite TiC/a-C films were varied by deposition conditions. It is shown that the average surface potential VSPav depends on the pulse frequency of graphite target sputtering during film deposition. Amount of sp3 bonded carbon on the film surface increases with scale up frequency. The VSPav of TiC/a-C nanocomposite films depends on phase composition (Ti, TiC, a-C) and their ratio. The numerical calculated volume fractions of the phases in the TiC/a-C films correlates with VSPav.

Keywords: nanocomposite films, diamond-like carbon, titanium carbide, Kelvin probe force microscopy, average surface potential

А. П. Рубштейн, Ю. В. Корх, А. Б. Владимиров, А. Б. Ринкевич, С. А. Плотников

ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОКОМПОЗИТНЫХ ПЛЕНОК С МАТРИЦЕОБРАЗУЮЩИМ УГЛЕРОДОМ МЕТОДОМ ЗОНДА КЕЛЬВИНА

Методом зонда Кельвина изучены нанокомпозитные TiC/a-C пленки и алмазоподобные углеродные а-С, полученные вакуумным ионно-плазменным методом. Пленки толщиной 200 нм осаждались на кремниевые пластины. Структура и состав нанокомпозитных TiC/a-C пленок варьировались условиями осаждения. Показано, что средней средний потенциал поверхности VПП ср а-С пленок зависит от частоты импульсов распыления графитовой мишени. При повышенной частоте количество sp3 связанного углерода на поверхности пленки возрастает. Установлена зависимость VППср TiC/a-C пленок от фазового состава (Ti, TiC, a-C) и их соотношения. Найдена корреляция между VППср и расчетными объемными долями фаз в TiC/a-C пленках.

Ключевые слова: нанокомпозитные пленки, алмазоподобный углерод, карбид титана, метод зонда Кельвина, средний потенциал поверхности
     

PDF        

 

импакт-фактор

 

МРДМК 2018 title=
МРДМК 2018

ЦКП Пластометрия
НЭБ РИНЦ
Google Scholar


РНБ

Учредитель:  Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт машиноведения Уральского отделения Российской академии наук
Главный редактор:  Э.C. Горкунов
При цитировании ссылка на Электронный научно-технический журнал "Diagnostics, Resource and Mechanics of materials and structures" обязательна. Воспроизведение материалов в электронных или иных изданиях без письменного разрешения редакции запрещено. Опубликованные в журнале материалы могут использоваться только в некоммерческих целях.
Контакты  
 
Главная E-mail 0+
 

ISSN 2410-9908 Регистрация СМИ в Роскомнадзоре Эл № ФС77-57355 от 24 марта 2014 г. © ИМАШ УрО РАН 2014-2018, www.imach.uran.ru